Ruim twee jaar geleden begon ASML hun onderzoeksproject ‘Advanced long-range piezoelectric wafer stage’. Waar dit onderzoek begon onder de vlag van TUE’s High Tech System Center, is het inmiddels ondergebracht en verruimt in de Eindhoven Engine. Mechatronica Machinebouw gaf een update over het ALP-project, waarbij nieuwe concepten voor waferstages worden gezocht buiten de comfortzone om zo een potentiële route voor de toekomst te vinden.
